Defects and defect healing in amorphous Si<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:msub><mml:mrow /><mml:mn>3</mml:mn></mml:msub></mml:math>N<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:msub><mml:mrow /><mml:mrow><mml:mn>4</mml:mn><mml:mo>−</mml:mo><mml:mi>x</mml:mi></mml:mrow></mml:msub></mml:math>H<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:msub><mml:mrow /><mml:mi>y</mml:mi></mml:msub… | ARTICLE | Raw Data Library | Raw Data Library